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壓力烤箱VPS-D06
除泡品類 | 可以容納50片12寸晶圓，雙腔體可分別獨立控制
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溫度 RT~200℃
智能真空壓力切換 Std
智能壓力控制 Option
智能溫控 Std
智能控氧 Option
智能揮發物收集 Option
智能診斷 Std
智能安全保護 Std
自動化整合 Option
產品 特征
核心性能指標
  • 1.腔體結構：雙腔體設計
  • 2.溫控系統：控制范圍RT ~ 200°C
  • 3.溫控精度≤±3°C
  • 4.升溫速率：≥10°C/分鐘
  • 5.降溫速率：≥5°C/分鐘(200°C ~ 80°C)
  • 6.壓力系統：壓力范圍0 ~ 8 kg/cm2
  • 7.壓力控制精度≤±0.1 kg/cm2
  • 8.升壓速率(1→8 kg/cm2)≤10分鐘
  • 9.泄壓速率 (8→1 kg/cm2)≤5分鐘
  • 10.真空系統：真空能力可控制在20 Torr以下
  • 11.抽真空速率(760→100 Torr)≤15分鐘
  • 12.釋放真空速率(100→760 Torr)≤5分鐘
  • 13.含氧量控制≤20 PPM
  • 14.具備真空/壓力自行分段設定功能
  • 15.核心工藝能力：氣泡消除能力：晶圓級產品點膠壓力烘烤后，氣泡不會在凸點間形成橋接，且所有氣泡面積小于芯片面積的1%
  • 16.真空壓力調變：壓力/真空可自行靈活分段設定選項
設備功能與配置
  • 1.安全保護系統：配備完善的安全互鎖、超溫超壓保護及緊急警報系統
  • 2.增壓系統采用冗余設計，支持單泵故障時自動切換并持續保壓
  • 3.具備雙重壓力檢知功能，實現雙重檢知雙重保護
  • 4.內置防漏水設計，杜絕因漏水導致產品報廢的風險
  • 5.具有產品緊急取出處理 （安全過程控制）功能，在設備制程中出現異常時，可針對特定要求安全、快速取出產品
  • 6.智能診斷與維護：具備防御性自主檢查及自我診斷功能，烘烤前可自動完成設備自檢，可實時顯示故障代碼與提示信息，協助維修
  • 7.具備完整的保養提醒功能，可協助完成保養步驟并生成可追溯記錄
  • 8.具備耗材使用年限提醒計算功能
  • 9.工藝控制系統：配備雙溫控系統（主溫控+ 輔助溫控）
  • 10.支持全溫段（低溫、中溫、高溫）抽真空功能
  • 11.配備斜率式升/降溫設定
  • 12.具備除揮發物功能，有效維持機臺清潔并延長使用壽命
  • 13.數據與系統管理：具備完整工藝數據實時記錄與追溯功能，能記錄所有參數及歷史制程數據
  • 14.數據可導出為非加密CSV或TXT格式（無需付費軟件即可打開）或提供免費開放API/SDK接口，供第三方系統無限制讀取
  • 15.支持快速遠程程序更新和軟件除錯
  • 16.提供可升級功能選擇，方便未來模塊升級
  • 17.提供備品與耗材清單
  • 18.配備2個12寸晶圓料籃，單個料籃容量25片12寸晶圓
產品 應用
  • IGBT-EPOXY POTTING環氧灌封
  • IGBT-CHIPSINTERING 芯片燒結
  • UNDERFILLING 填充
  • UVLED-CUF+POTTING
  • 2.5D/3D IC-NCF OR CUF
  • DIODE-PICOATING 二極管-鉛圖層
  • 貼壓膜后-除泡
  • LCD貼壓膜后-除泡
  • 黏晶-(DAF干膜)
  • 點膠/印刷/灌封
  • 通孔填充除泡
  • 毛細填充(CUF)
  • DIE ATTACHED
  • LC TAPE
  • 熱傳導材料TIM
  • 模組覆膜
  • 封裝(液體化合物)
  • TC黏接(熱壓縮黏接)
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