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真空壓力除泡系統(tǒng) VPS-S06
除泡品類 | 智能真空/壓力共存切換系統(tǒng)，可多重分段設(shè)置，除泡效率高
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溫度 RT~200℃
智能真空壓力切換 Std
智能壓力控制 Option
智能溫控 Std
智能控氧 Option
智能揮發(fā)物收集 Option
智能診斷 Std
智能安全保護 Std
自動化整合 Option
產(chǎn)品 特征
產(chǎn)品特征
  • 設(shè)備尺寸：W1375 xD1650xH1792 mm
  • 支持 12 寸及以下晶圓貼片、底填工藝除泡。?溫度、壓力、真空、時間等參數(shù)全開放，真空 / 壓力可多重多段設(shè)置
  • 免費開放 SECS/GEM 協(xié)議，可免費配合開發(fā)其他通訊協(xié)議
  • 控溫 RT~200℃，精度≤1℃，均勻性≤±3℃（@5kg/cm2）；升降溫速度≥10℃/min（200→80℃降溫）
  • 極限真空≤10torr，760→10torr 抽真空≤6 分鐘（≥150℃環(huán)境），10→760torr 釋放真空≤3 分鐘
  • 0→8kg/cm2 升壓≤10 分鐘，8→0kg/cm2 泄壓≤5 分鐘，壓力均一性≤±0.1kg/cm2
  • 含氧量≤20ppm，多類材料氣泡殘留率≤1%，腔體內(nèi)潔凈度≥Class1000
  • 具備烘烤前自檢、保養(yǎng)協(xié)助、備品耗材年限提醒功能
  • 正常運行時間（Up time）≥95%
產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 適用范圍廣，覆蓋 12 寸及以下晶圓相關(guān)工藝
  • 參數(shù)開放且可靈活設(shè)置，適配多樣工藝需求
  • ?通訊協(xié)議支持完善，降低系統(tǒng)集成成本
  • 安裝服務(wù)全包，采購方無需額外投入
  • 溫控精準(zhǔn)高效，保障除泡穩(wěn)定性
  • 真空 / 壓力控制快速均一，提升作業(yè)效率
  • 低氧高潔凈環(huán)境，減少污染，保證產(chǎn)品質(zhì)量
  • 除泡效果好，材料氣泡殘留率低
  • 智能功能齊全，降低運維成本，便于設(shè)備管理
  • 運行穩(wěn)定，減少生產(chǎn)中斷，保障產(chǎn)能
產(chǎn)品 應(yīng)用
  • IGBT-EPOXY POTTING環(huán)氧灌封
  • IGBT-CHIPSINTERING 芯片燒結(jié)
  • UNDERFILLING 填充
  • UVLED-CUF+POTTING
  • 2.5D/3D IC-NCF OR CUF
  • DIODE-PICOATING 二極管-鉛圖層
  • 貼壓膜后-除泡
  • LCD貼壓膜后-除泡
  • 黏晶-(DAF干膜)
  • 點膠/印刷/灌封
  • 通孔填充除泡
  • 毛細填充(CUF)
  • DIE ATTACHED
  • LC TAPE
  • 熱傳導(dǎo)材料TIM
  • 模組覆膜
  • 封裝(液體化合物)
  • TC黏接(熱壓縮黏接)
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